系統概述：
在半導體器件整個生產工藝過程中，半導體晶片特性測試是驗證晶圓上的芯片是否滿足最初設計指標和功能的關鍵步驟。這些測試項目包括器件的直流電流電壓(IV)特性及電容電壓(CV)特性、高頻動態特性、溫度特性、噪聲特性等。
隨著器件幾何尺寸越來越小，器件特性對測試系統的要求越來越高。例如薄膜半導體器件、納米器件、存儲器件、MEMS等，這些器件的接觸電極非常小，通常只有微米平方，傳統的探針臺探針接觸尺寸及光學顯微鏡輔助已經不能滿足這類材料器件的接觸測試，同時要求更低噪聲電流的源測量單元、更寬帶寬的信號源、更高頻率的阻抗測試儀器才能精確得出被測器件管芯的參數。另一方面相對傳統的半導體器件測試而言，有機分子等新型器件因具有尺寸小、柔性、薄膜、熱電效應性質等，在樣品接觸、測試參數多等條件限制下，單一的半導體參數分析儀器也已經不能滿足這類器件的測試要求。
為滿足器件不同參數的測試例如直流、高頻、非電學參量特性測試，探針臺需要靈活配置不同類型的探針、光學顯微鏡系統及集成非電學參量檢測設備，同時為了適應將來新的器件測試要能進行升級擴展；而對應的半導體參數分析系統也需要具有模塊化，可擴展，可升級。
偉通城科技半導體器件多參數綜合表征測試系統主要由靈活多變配置的分析探針臺、keysight半導體參數分析儀、測試探卡、矩陣開關、低噪聲線纜、溫控儀等構成；而有機分子器件熱電參數測試平臺還要集成高阻抗前置放大、在線紅外熱成像測溫系統、系統軟件等，這能有效解決器件的綜合參數表征測試。
系統介紹：
B1500A半導體參數分析儀是用于表征 MOS器件、二極管、碳納米管、存儲器件、有機分子器件、光電器件等電學直流電流電壓特性、電容電壓特性、阻抗特性和瞬態特性的綜合測試系統。有機分子器件測試中必須配置兩個高輸入阻抗的前置放大器用于測試器件上的高阻電壓?？筛鶕煌臏y試應用內置不同測試單元模塊硬件，軟件支持各種器件特性參數測試庫，只需簡單設置測試條件，即可完成參數測試。
根據晶圓內器件的物理特性參數配置不同的磁吸附探針座及精密探針，被測晶圓或有機分子器件放置在載片臺上，在高倍率顯微鏡觀察下，精確調節針座移動坐標，分別使探針接觸器件的電極觸點，即可完成與器件的連接工作。探針與 B1500A 內的測試單元模塊通過不同類型的低噪聲屏蔽線纜 (Triax，BNC，SMA 等)無縫連接，這樣整個測試系統從儀器到器件連接完成，可以進行不同參數特性的測試。探針可根據實際測試要求配置不同頻率和不同尺寸、直徑的探針來滿足測試需要。軟件通過 GPIB 控制半導體分析儀及在線紅外測溫系統，通過進行不同模式的參數設定，點擊運行即可完成相應的熱電參數測試。
系統特性：
● 覆蓋所有的半導體器件直流及阻抗參數特性測試
● 電流測量范圍從 0.1fA 到 1A(可擴展到 10A 甚至更高)
● 電壓測量范圍從 1 uV 到 200 V(可擴展至 3000 V)
● 頻率測量范圍從 DC 到 40 GHz
● 電阻測量范圍高達 Ω
● 擴展矩陣開關，結合探針卡可完成多達 72Pin 的集成電路參數測試
● 系統探針支持微米級器件接觸電極大小
● 配備高倍率顯微鏡及圖像采集系統,實時查看器件接觸情況
● 系統軟硬件均可升級
● 系統支持元器件可靠性及失效分析測試
系統測試參數舉例：
系統圖片：
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